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外延薄膜設備
021-64283335
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三維光學輪廓儀是精準測量領域的新星
電子束曝光系統:微觀世界的精密畫師
晶圓探針式輪廓儀作為半導體工業中重要的測試和測量工具
國產PLD脈沖激光分子束外延裝置。 脈沖激光分子束外延成膜法PLD/Laser MBE是將脈沖激光通過合成石英窗導入真空腔內照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成羽輝,升華出來的靶材堆積到設在對面的基板上而形成膜
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