納米壓痕儀可輕松測量硬涂層，薄膜和少量材料。該儀器準確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。
可互換的驅動器能夠提供大動態范圍的力荷載和位移，使研究人員能夠對軟聚合物到硬質金屬和陶瓷等材料做出精確及可重復的測試。
模塊化選項適用于各種應用：材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損測試以及高溫測試。
微納米壓痕儀(高溫)通過在真空環境中單加熱jian端和樣品來測量高溫下的硬度、模量和硬度。INSEM®HT與掃描電子顯微鏡(SEM)和聚焦離子束(FIB)或立真空室兼容。
技術中用到的壓頭一般均選用硬度和彈性模量均很高的材質，其主要目的在于最大限度減小測試過程中壓頭與試件接觸時壓頭受力產生的變形，從而降低對于壓入深度的測量誤差。
一般情況下選用金剛石作為壓頭材料，金剛石硬度高、熱膨脹系數小、化學性質穩定、導熱系數大。而在某些特殊工作條件下，藍寶石、立方氮化硼(cBN)、碳化硅(SiC)、碳化鎢等材料也廣泛被用于加工壓頭。
常用的仍然是金剛石壓頭、立方氮化硼壓頭和藍寶石壓頭。壓頭根據其形狀主要可以分為錐形、平頭、球形和楔形等等，錐形壓頭主要包括常用的三棱錐玻氏壓頭和立方角壓頭，四棱錐的維氏壓頭和努氏壓頭，不同錐角的圓錐形洛氏壓頭以及球形的布氏壓頭。