了解一下三維光學(xué)輪廓儀的原理及功能吧

更新時(shí)間：2022-11-08

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　　三維光學(xué)輪廓儀檢測(cè)設(shè)備主要對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量儀器。

　　三維光學(xué)輪廓儀檢測(cè)設(shè)備是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量儀器，主要對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

　　下面讓我們一起來了解一下三維光學(xué)輪廓儀的原理及功能吧

　　原理:

　　三維光學(xué)輪廓儀是利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器。它的顯著特點(diǎn)是可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，并可以快速獲取被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè)，其主要用途是用于成品的質(zhì)量管理，確保良品合格率。

　　可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求很高的如︰半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域。可以說只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量，除了三維光學(xué)輪廓儀，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。

　　產(chǎn)品功能

　　1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

　　2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

　　3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

　　4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

　　5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

　　6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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